Spesifikasi utama: 1. tegangan akselerasi: 1-15kV, terus diatur. 2. Jenis senapan elektron: senapan emisi medan Schotty (FEG), lensa senapan dua tahap yang sangat terintegrasi, tidak perlu menyesuaikan diafragma lensa objek secara manual. 3. pembesaran ≥1000000X; 4Resolusi:≤2.5nm@15KV 5Detektor: detektor elektron sekunder (SE), detektor retrograde empat kali lipat (BSE), 6. Tahap: 2 Axis XY motorized stage, bergerak 60x55mm; 7. Ukuran sampel maksimum: 100 * 78 * 68.5mm sementara sumbu XY bergerak bebas 8. Perubahan sampel dan waktu pompa vakum tinggi≤ 180s. 9Sistem vakum tinggi: pompa mekanik, pompa molekul turbo, pompa ion x2, vakum di ruang sampel ≥ 4x10-2Pa, kontrol otomatis penuh; 10. Mode video ≥512x512 piksel, tidak perlu pemindaian jendela kecil. 11. Mode scan cepat: waktu pencitraan≤3s, 512x512 piksel. 12. Mode pemindaian lambat: waktu pencitraan≤40s, 2048x2048 piksel. 13. File gambar: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Satu tombol pengaturan otomatis kecerahan dan kontras, auto-fokus, gambar besar menjahit 15Fungsi navigasi: navigasi kamera optik dan kamera kabin. 16Fungsi pengukuran gambar: jarak, sudut, dll. 17Termasuk komputer & perangkat lunak, kontrol mouse. 18Opsional: -- Filament tungsten (20 pcs/kotak) --EDS --3 Axis Motorized Stage XYZ --3 Axis Motorized Stage XYT --5 Axis Motorized Stage XYZRT --Vakuum rendah (1-60Pa) --In-situ tahap dari pabrik asli, pemanasan, pendinginan, peregangan, dll -- Mode deceleration, 1-10KV, dapat mengamati sampel non-konduktor atau konduktivitas yang buruk tanpa semprot emas, hanya untuk mode BSE --Platform penyerap kejut (rekomendasi untuk A63.7005) 19Ukuran mikroskop 650*370*642mm, ukuran pompa mekanik 340*160*140mm |
Model | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Resolusi | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
Perbesar | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Senjata Elektron | Tungsten | Tungsten | Tungsten | LaB6 | Schotty FEG |
Tegangan | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Detektor | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
Navigasi CCD | CCD | CCD | CCD+Kamera kabin | CCD+Kamera kabin | CCD+Kamera kabin |
Waktu Vakum | 90an | 90an | Tahun 30-an | 90an | 180s |
Sistem vakum | Pompa Mekanis Pompa Molekuler |
Pompa Mekanis Pompa Molekuler |
Pompa Mekanis Pompa Molekuler |
Pompa Mekanis Pompa Molekuler Pompa Ion |
Pompa Mekanis Pompa Molekuler Pompa Ion x2 |
Vakum | Vakum Tinggi 1x10-1Pa |
Vakum Tinggi 1x10-1Pa |
Vakum Tinggi 1x10-1Pa |
Vakum Tinggi 5x10-4Pa |
Vakum Tinggi 5x10-4Pa |
Tahap | Tahap XY, 40x30/40x40mm |
Tahap XY, 40x30/40x40mm |
Tahap XY, 60x55mm |
Tahap XY, 60x55mm |
Tahap XY, 60x55mm |
Keakuratan Tahap | - | Posisi tepat 5um | |||
Jarak kerja | 5-35mm | 5-35mm | 5-73,4 mm | 5-73,4 mm | 5-73,4 mm |
Max Spesimen | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
Opsional | Tungsten Filament 20 pcs/kotak | Laboratorium 6 Filament | Lampu Emisi Lapangan | ||
EDS Oxford AZtecOne dengan XploreCompact 30 | |||||
- | Low Vacuum 1-100Pa | Low Vacuum 1-30Pa | |||
- | Modul sumbu Z | 3 Axis Stage, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | Modul sumbu T | 3 Axis Stage, X 60mm, Y 50mm, T ± 20° | |||
- | - | 5 Axis Stage, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ± 20°, R 360° | |||
- | - | Platform penyerap kejut, untuk 3 sumbu, 5 sumbu tahap | |||
- | Modus Perlahan 1-10KV Untuk Memantau Sampel Non-konduktif, Hanya Untuk BSE | ||||
- | Tahap In-Situ Dari Pabrik Asli, Pemanasan, Pendinginan, Peregangan, dll. | ||||
UPS |
▶AZtecOne dengan XploreCompact 30 untuk TTM
Sistem Analisis Eds konvensional Sistem ini menyediakan analisis kualitatif dan kuantitatif dari bahan yang berbeda, menganalisis elemen mulai dari B ((5) sampai cf (98).pemindaian garis yang kuat dan pemindaian spektral unsur juga tersedia. dikombinasikan dengan detektor yang disesuaikan, analisis dan pelaporan dapat dilakukan dalam hitungan detik. |
Daerah Kristal Efektif | 30mm2 | Resolusi (Sebuah Foto) | Mn Ka <129eV @50,000cps |
Jangkauan Deteksi Unsur | B (5) sampai cf (98) | Tingkat Penghitungan Masuk Maksimal | >1,000,000 cps |