--Ruang pengolahan kaca: ∮100mm; 130mm Tinggi.
--Ukuran tahap ukuran: ∮40mm (Tahan 6 gelas spesimen)
- Ukuran target Emas:
∮58mm * 0.12mm (ketebalan)
- Deteksi Vacuum: Pirani gage
- Perlindungan vakum: 20 pa dengan katup inflasi skala mikro
--Medium Gas: Argon atau udara dengan inlet udara khusus gas argon dan gas yang mengatur dalam skala mikro.
| A50.7011 Ion Sputter Coater |
| Ruang vakum | Dia 100mm * H130mm |
| Tahap Spesimen | Dia 40mm (Memegang 6 Cup Spesimen) |
| Target Sputtering Emas | Dia 58mm * 0.12mm (ketebalan) |
| Pengukur Vakum | Pirani Gage |
| Pompa vakum | Rotation Vane Pums: 2L / s |
| Titik Perlindungan Vakum | 20Pa Dengan Katup Inflasi Skala Mikro |
| Gas Kerja | Argon atau udara dengan gas inlet udara khusus dan gas yang mengatur dalam skala mikro |
| Tegangan tergagap | 1.6KV |
| Berat kotor | 48kg |
| Pemenuhan | CE |


