| A63.7080, A63.7081 Fungsi Utama Perangkat Lunak | ||
| Komisioning terintegrasi tegangan tinggi | Filamen otomatis hidup/mati | Peraturan pergeseran potensial |
| Penyesuaian kecerahan | Penyesuaian listrik ke pusat | Kecerahan otomatis |
| Penyesuaian kontras | Penyesuaian lensa objektif | Fokus otomatis |
| Penyesuaian pembesaran | Degaussing obyektif | Penghapusan astigmatisme otomatis |
| Mode pemindaian area yang dipilih | Penyesuaian putaran listrik | Manajemen parameter mikroskop |
| Mode pemindaian titik | Penyesuaian perpindahan berkas elektron | Tampilan waktu nyata dari ukuran bidang pemindaian |
| Mode pemindaian garis | Penyesuaian kemiringan berkas elektron | Penyesuaian lensa senjata |
| Pemindaian permukaan | Penyesuaian kecepatan pemindaian | Masukan multisaluran |
| Pemantauan daya tegangan tinggi | Ayunan terpusat | Pengukuran penggaris |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Resolusi | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1,5nm@30KV(SE) 3nm@30KV(BSE) |
1,0nm@30KV(SE) 3,0nm@1KV(SE) 2,5nm@30KV(BSE) |
| Pembesaran | 1x~450000x,Pembesaran Nyata Negatif | 1x~600000x, Pembesaran Sebenarnya Negatif | 1x~3000000x Pembesaran Sebenarnya Negatif |
| Senjata Elektron | Kartrid Filamen Tungsten Pra-Pusat | Senjata Emisi Lapangan Schottky | Senjata Emisi Lapangan Schottky |
| Voltase | Mempercepat Tegangan 0,2~30kV, Dapat Disesuaikan Terus Menerus, Sesuaikan Langkah 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Tampilan Cepat | Fungsi Gambar Tampilan Cepat Satu Tombol | T/A | T/A |
| Sistem Lensa | Lensa Tapered Elektromagnetik Tiga Tingkat | Lensa Meruncing Elektromagnetik Multi-level | |
| Bukaan | 3 Bukaan Objektif Molibdenum, Dapat Disesuaikan Di Luar Sistem Vakum, Tidak Perlu Membongkar Tujuan untuk Mengubah Bukaan | ||
| Sistem Vakum | 1 Pompa Molekuler Turbo 1 Pompa Mekanik Vakum Ruang Sampel>2.6E-3Pa Vakum Ruang Pistol Elektron>2.6E-3Pa Kontrol Vakum Sepenuhnya Otomatis Fungsi Interlock Vakum Model Opsional: A63.7069-LV 1 Pompa Molekuler Turbo 2Pompa Mekanik Vakum Ruang Sampel>2.6E-3Pa Vakum Ruang Pistol Elektron>2.6E-3Pa Kontrol Vakum Sepenuhnya Otomatis Fungsi Interlock Vakum Vakum RendahRentang 10~270Pa Untuk Peralihan Cepat dalam 90 Detik Untuk BSE(LV) |
1 Set Pompa Ion 1 Pompa Molekuler Turbo 1 Pompa Mekanik Vakum Ruang Sampel>6E-4Pa Vakum Ruang Pistol Elektron>2E-7 Pa Kontrol Vakum Sepenuhnya Otomatis Fungsi Interlock Vakum |
1 Pompa Ion Sputter 1 Pompa Senyawa Ion Pengambil 1 Pompa Molekuler Turbo 1 Pompa Mekanik Vakum Ruang Sampel>6E-4Pa Vakum Ruang Pistol Elektron>2E-7 Pa Kontrol Vakum Sepenuhnya Otomatis Fungsi Interlock Vakum |
| Detektor | SE: Detektor Elektron Sekunder Vakum Tinggi (Dengan Perlindungan Detektor) | SE: Detektor Elektron Sekunder Vakum Tinggi (Dengan Perlindungan Detektor) | SE: Detektor Elektron Sekunder Vakum Tinggi (Dengan Perlindungan Detektor) |
| BSE: Segmentasi Semikonduktor 4 Detektor Hamburan Belakang |
Opsional | Opsional | |
| Model Opsional: A63.7069-LV SADARI(LV): Segmentasi Semikonduktor 4 Detektor Hamburan Belakang |
|||
| CCD:Kamera CCD Inframerah | CCD:Kamera CCD Inframerah | CCD:Kamera CCD Inframerah | |
| Perluas Pelabuhan | 2 Perpanjang Port Pada Ruang Sampel Untuk EDS, BSD, WDS dll. |
4 Perluas Port Pada Ruang Sampel Untuk BSE, EDS, BSD, WDS dll. |
4 Perluas Port Pada Ruang Sampel Untuk BSE, EDS, BSD, WDS dll. |
| Tahap Spesimen | Tahap 5 Sumbu, 4Mobil+1petunjukKontrol Jangkauan Perjalanan: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90°(Manual) Sentuh Fungsi Peringatan & Berhenti Model Opsional: A63.7069-LTahap Besar Otomatis 5 Sumbu |
5 SumbuMobil TengahPanggung Jangkauan Perjalanan: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Sentuh Fungsi Peringatan & Berhenti Model Opsional: A63.7080-L5 SumbuMobil BesarPanggung |
5 SumbuMobil BesarPanggung Jangkauan Perjalanan: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Sentuh Fungsi Peringatan & Berhenti |
| Spesimen Maks | Dia.175mm, Tinggi 35mm | Dia.175mm, Tinggi 20mm | Dia.340mm, Tinggi 50mm |
| Sistem Gambar | Gambar Diam Nyata Resolusi Maks 4096x4096 Piksel, Format File Gambar: BMP (Default), GIF, JPG, PNG, TIF |
Gambar Diam Nyata Resolusi Maks 16384x16384 Piksel, Format File Gambar: TIF(Default), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Rekam Otomatis Video .AVI Digital |
Gambar Diam Nyata Resolusi Maks 16384x16384 Piksel, Format File Gambar: TIF(Default), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Rekam Otomatis Video .AVI Digital |
| Komputer & Perangkat Lunak | Stasiun Kerja PC Sistem Win 10, Dengan Perangkat Lunak Analisis Gambar Profesional Untuk Mengontrol Sepenuhnya Seluruh Operasi Mikroskop SEM, Spesifikasi Komputer Tidak Kurang Dari Inter I5 3.2GHz, Memori 4G, Monitor LCD IPS 24", Hard Disk 500G, Mouse, Keyboard | ||
| Tampilan Foto | Tingkat Gambar Kaya Dan Teliti, Menampilkan Pembesaran Waktu Nyata, Penggaris, Tegangan, Kurva Abu-abu | ||
| Dimensi & Berat |
Badan Mikroskop 800x800x1850mm Meja Kerja 1340x850x740mm Berat Total 400Kg |
Badan Mikroskop 800x800x1480mm Meja Kerja 1340x850x740mm Berat Total 450Kg |
Badan Mikroskop 1000x1000x1730mm Meja Kerja 1330x850x740mm Berat Total 550Kg |
| Aksesori Opsional | |||
| Aksesori Opsional | A50.7002Spektrometer Sinar-X Dispersi Energi EDS A50.7011Pelapis Sputtering Ion |
A50.7001Detektor Elektron Hamburan Kembali BSE A50.7002Spektrometer Sinar-X Dispersi Energi EDS A50.7011Pelapis Sputtering Ion A50.7030Panel Kontrol Motorisasi |
A50.7001Detektor Elektron Hamburan Kembali BSE A50.7002Spektrometer Sinar-X Dispersi Energi EDS A50.7011Pelapis Sputtering Ion A50.7030Panel Kontrol Motorisasi |
| A50.7001 | Detektor SADARI | Detektor Hamburan Belakang Empat Segmen Semikonduktor; Tersedia Dalam Bahan A+B, Info Morfologi AB; Sampel yang Tersedia Amati Tanpa Menyemprotkan Emas; Tersedia Dalam Mengamati Pengotor Dan Distribusi Dari Peta Grayscale Secara Langsung. |
| A50.7002 | EDS (Detektor Sinar X) | Jendela Silicon Nitride (Si3N4) Untuk Mengoptimalkan Transmisi Sinar-X Energi Rendah Untuk Analisis Elemen Cahaya; Resolusi Luar Biasa Dan Perangkat Elektronik Tingkat Kebisingan Rendah Yang Canggih Memberikan Kinerja Throughput Yang Luar Biasa; Jejak Kecil Menawarkan Fleksibilitas Untuk Memastikan Kondisi Geometri Dan Pengumpulan Aata Yang Ideal; Detektor Berisi Chip 30mm2. |
| A50.7003 | EBSD (Difraksi Hamburan Balik Berkas Elektron) | pengguna dapat menganalisis orientasi kristal, fase kristal dan tekstur mikro bahan serta kinerja bahan terkait, dll. optimasi otomatis pengaturan kamera EBSD selama pengumpulan data, lakukan analisis interaktif real-time untuk memperoleh informasi yang maksimal semua data diberi label waktu, yang dapat dilihat kapan saja resolusi tinggi 1392 x 1040 x 12 Kecepatan pemindaian dan indeks: 198 poin / detik, dengan Ni sebagai standar, dalam kondisi 2~5nA, dapat memastikan tingkat indeks ≥99%; bekerja dengan baik pada kondisi arus pancaran rendah dan tegangan rendah 5kV pada 100pA akurasi pengukuran orientasi: Lebih baik dari 0,1 derajat Menggunakan sistem indeks tripleks: tidak perlu bergantung pada definisi pita tunggal, pengindeksan mudah dengan kualitas pola yang buruk database khusus: database khusus EBSD yang diperoleh dengan difraksi elektron: >400 struktur fasa Kemampuan indeks: secara otomatis dapat mengindeks semua bahan kristal dari 7 sistem kristal. Opsi lanjutannya antara lain menghitung kekakuan elastis (Elastic Stiffness), faktor Taylor (Taylor), faktor Schmidt (Schmid), dan seterusnya. |
| A50.7010 | Mesin Pelapis | Cangkang Pelindung Kaca: ∮250mm; Tinggi 340mm; Ruang Pengolahan Kaca: ∮88mm; Tinggi 140mm, ∮88mm; Tinggi 57mm; Ukuran Tahap Spesimen: ∮40mm (maks); Sistem Vakum: Pompa Molekul Dan Pompa Mekanik; Deteksi Vakum: Pirani Gage; Vakum: lebih baik Dari 2 X 10-3 Pa; Perlindungan Vakum: 20 Pa Dengan Katup Inflasi Skala Mikro; Pergerakan Spesimen: Rotasi Bidang, Presesi Kemiringan. |
| A50.7011 | Pelapis Sputtering Ion | Ruang Pengolahan Kaca: ∮100mm; Tinggi 130mm; Ukuran Tahap Spesimen: ∮40mm (Tahan 6 Cangkir Spesimen) ; Ukuran Target Emas: ∮58mm*0,12mm (ketebalan); Deteksi Vakum: Pirani Gage; Perlindungan Vakum: 20 Pa Dengan Katup Inflasi Skala Mikro; Gas Sedang:argon Atau Udara Dengan Saluran Masuk Udara Khusus Gas Argon Dan Gas Yang Diatur Dalam Skala Mikro. |
| A50.7012 | Pelapis Sputtering Ion Argon | Sampel Disepuh Dengan Karbon Dan Emas Di Bawah Vakum Tinggi; Tabel Sampel yang Dapat Diputar, Lapisan Seragam, Ukuran Partikel Sekitar 3-5nm; Tidak Ada Pemilihan Bahan Target, Tidak Ada Kerusakan Pada Sampel; Fungsi Pembersihan Ion Dan Penipisan Ion Dapat Diwujudkan. |
| A50.7013 | Pengering Titik Kritis | Diameter dalam: 82mm, Panjang bagian dalam: 82mm; Kisaran Tekanan: 0-2000psi; Kisaran Suhu:0°-50°C (32°-122°F) |
| A50.7014 | Litografi Berkas Elektron | Berdasarkan Pemindaian Mikroskop Elektron, Sistem Paparan Nano Baru Dikembangkan; Modifikasi Telah Mempertahankan Semua Fungsi Sem Untuk Membuat Gambar Lebar Garis Skala Nano; Sistem Ebl yang Dimodifikasi Secara Luas Diterapkan pada Perangkat Mikroelektronik, Perangkat Optoelektronik, Perangkat Quantun, Litbang Sistem Mikroelektronika. |
| A63.7080, A63.7081 Pakaian Bahan Habis Pakai Standar | |||
| 1 | Filamen Emisi Lapangan | Dipasang Di Mikroskop | 1 buah |
| 2 | Piala Sampel | Dia.13mm | 5 buah |
| 3 | Piala Sampel | Dia.32mm | 5 buah |
| 4 | Pita Konduktif Karbon Dua Sisi | 6mm | 1 Paket |
| 5 | Gemuk Vakum | 10 buah | |
| 6 | Kain Tak Berbulu | 1 tabung | |
| 7 | Pasta Poles | 1 buah | |
| 8 | Kotak Sampel | 2 tas | |
| 9 | Penyeka kapas | 1 buah | |
| 10 | Filter Kabut Minyak | 1 buah | |
| A63.7080, A63.7081 Peralatan Standar & Perlengkapan Suku Cadang | |||
| 1 | Kunci Pas Segi Enam Bagian Dalam | 1,5mm~10mm | 1 Set |
| 2 | Pinset | Panjang 100-120mm | 1 buah |
| 3 | Obeng Berlubang | 2*50mm, 2*125mm | 2 buah |
| 4 | Obeng Silang | 2*125mm | 1 buah |
| 5 | Bersihkan pipa ventilasi | Dia.10/6.5mm (Diameter Keluar/Diameter Dalam) | 5m |
| 6 | Katup pengurang tekanan ventilasi | Tekanan Keluaran 0-0,6MPa | 1 buah |
| 7 | Catu daya kue internal | 0-3A DC | 2 buah |
| 8 | Catu daya UPS | 10kVA | 2 buah |
| Instrumen Persiapan Sampel Mikroskop Elektron Pemindaian | ||